[加熱技術ガイドブックの主な内容]

排気管のつまりを防ぎ、メンテナンス頻度・コストを50％減少するチャンバー内の排気クリーン化技術とは？

物質を加熱した際に発生した昇華物の凝固化による排管詰まりや装置汚染を解消し、人手によるメンテナンスコストを大幅に削減します。

全面を均一に加熱し、大型ガラス基板でも面内精度±3℃以内達成クリーン環境下での精密均熱化技術とは？

雰囲気中の不純物でコンタミが起りますが、コンタミと均熱はトレードオフで、なかなか解決できないでいました。
コンタミと均熱のトレードオフを解決する技術が登場していますので、ご紹介します。

ゆっくり加熱もすばやく加熱も思いのままに実現するオーバーシュートレス温度勾配制御技術とは？

「急加熱の上でじっくり冷やす」「ゆっくり加熱して急冷する」など加熱プロセスによって求められる制御は全く違います。
炉内雰囲気全体を正確に制御するためには、センシングとコントロールに長けていなければなりません。
最近では制御が難しいとされる多段・広い炉内全体を、急勾配や緩勾配を正確に制御する技術が登場しています。ご紹介致します。

ロール状ワークの搬送中でも、すみずみまで均一加熱を実現する搬送物加熱ソリューション　　最適な加熱源を紹介します！

ロール状のワークを搬送中（コーターでのコーティングなど）は、密閉できる構造ではなく、
どうしても雰囲気の滞留等によるロールの運動が起こってしまいます。
そのため、搬送中の均一加熱は難しい問題ですが、当社では、複数の加熱技術を組み合わせることでそうした問題を解決しました。
この技術をご紹介します。

ぶ厚いワークを短時間で中までしっかり加熱し、しかも表面が焦げない表面と内部の温度差を1/2以下に改善、表面の過昇温抑制技術とは？

「外はカリカリで中はフワフワ」というのは食品では歓迎されることですが、工業製品では許されることではありません。
内部も均一に加熱するためには、普通の加熱方法では足りません。
最近では、外からの加熱ともう一つの方法を併用することで内部まで均一に加熱するための技術が登場しています。

レーザー加熱より安価、イニシャルコスト50%減！

レーザー光源の高出力化で加工がしやすくなったとは言え、まだまだ光学で線幅が狭いというが現実です。
レーザーが進化する一方、古い技術も進化して一部ではレーザーを上回る使いやすさが実現できています。
古い技術とは電球の技術なのですが、電球という枯れたお安い技術を活用した最先端の加熱プロセスをご紹介します。

＜開発製品＞

カスタマイズ製品の実績紹介

「液晶・OLEDなどのFPD分野での装置事例」

Annealは「アニール（加熱処理）」

「電子部品向けの乾燥・熱処理分野での装置事例」

電子部品向け乾燥、焼付などの加熱装置を紹介します。

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