ドライエッチング受託加工のご案内
弊社ではドライエッチング受託加工サービスを行っています。
ワイエイシイデンコーのプラズマ技術でお客様固有のニーズにお応えします。
各種実験、測定評価、試作などお受けしておりますので、詳細につきましては下記のボタンからフォームまたは下記の電話番号に直接お問い合わせください。
FPD営業本部
☎ 0428-32-2615 ✉️ post@yac-denko.co.jp
受託加工事業所
〒400-0314 山梨県南アルプス市下市之瀬1210-1
受託加工前の見学や受託加工の立会も可能です。
特徴
- 小型から大型までのワークに対応
- 開発試作から量産加工まで研究開発・生産まで対応
- 研究開発や短期的・突発的な少量・多品種対応
- 装置メーカーならではのその後の装置提案が可能
- 加工直後の測定環境を整備
- クリーン環境で高品質な加工を実現
仕様
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加工後の評価(FE-SEM、EDS、段差測定器、光学顕微鏡)も承ります。加工可能サイズ ～1,500mm×1850mm(最大） プラズマ方式 ・誘導結合型プラズマ方式（ICP）
・バレル型アッシング装置ワークチャック 静電チャック バイアス印加 可能 エッチングガス CF4,SF6,CHF3,C2HF5,
Cl2,BCl3,
Ar,N2,He
エッチング事例
