事例詳細
課題（お客様のお困りごと）
ポリイミド樹脂（Pi）、有機膜の焼成や、ポリイミドのイミド化で焼成炉を使っているケース
- 焼成時、シャッターや炉口部分にヤニ状の昇華物が付着して、パーティクルの原因となっている
（パーティクルの発生 歩留まり低下） - フレキシブル基板プロセスでイミド化する際に大量の昇華物が発生しメンテが大変 （メンテナンス）
- タッチパネルプロセスで感光性ペーストからの昇華物が多い
- 排気エアーに含まれる不純物質を除去して環境に配慮したい
ご提案内容 ＜バインダートラップの使用 オプション＞
- 特許番号：3961912号技術である炉内の雰囲気制御の縦型多段方式の排気系統にバインダートラップ追加
- 特許番号：3614748号技術である炉内のシール性能を高め、炉内で発生する昇華物を効率よく炉外へ排出
- 各排気経路配管には、保温ヒータ（マントルヒータ・ジャケットヒータ）を設置し、昇華物が固化しない温度（100℃～120℃）以上に保ち昇華物をバインダートラップへ誘導します
- 集めた排気ガスはバインダートラップ内で冷却し、気体中の昇華物（不純物質）を固化します
- 固化した昇華物は、定期メンテ時に簡単除去出来る構造です（操業中もメンテ可能に出来る2重化も可能です）
効果（お客様のメリット）
- 省スペース （バインダートラップは装置内に設置可能）
- 設備メンテナンスコスト低減 （作業が簡単）
- 製品品質の向上で、歩留まりアップ （生産性の向上）
- 環境対策