液晶/OLED显示屏生产用加热炉 MK系列
作为FPD适用的工艺设备，与以前的MB系列250 ℃、MT系列350 ℃相比，MK系列支持更高的温度段，是可在450 ℃的高温段进行玻璃基板热处理的最新纵型单片多层加热炉。
最适合载流子速度为非晶硅的10倍以上的氧化物TFT工艺（IGZO、CAAC、TAOS）、速度更快的多晶硅工艺（LTPS、CGS）及OLED（有机EL面板）的各种退火加热，不仅适用于平板电脑和智能手机，作为大型4K电视机适用的工艺设备也备受瞩目。
（450 ℃ G4.5 5层规格）
特点
在450 ℃温度段，基板背面可能因基板支撑方式或所用材料而出现损伤等缺陷，同时也存在基板收缩（紧缩 Glass Compaction）等问题。
本公司在听取客户要求的同时，为客户提供最合适的解决方案，如最合适的基板支撑方式及温度控制。
远红外线加热（IR加热）技术可实现高度洁净的环境（CLASS100），无需担心产生颗粒物及静电，有助于提高产品的成品率。
多晶硅工艺（LTPS）对温度的要求有时可能超过450 ℃，到达500 ℃，作为MK系列的高配规格，我们可提供增设兼顾500 ℃±2 ℃时的耐热性、高温耐久性、安全性及基板损伤的升温/降温温度控制功能的设备方案。
用途
去氢退火、氢化退火、氧化物TFT退火、多晶退火等
本公司拥有FPD适用的高温工艺评估用实验设备，可接受实验，以应对客户的各种需求。敬请垂询。