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产品信息

液晶显示屏生产用加热炉MB/MS系列

本公司首创的液晶显示屏生产用
远红外线(IR)式单片多层加热炉。
本产品在全球的液晶显示屏厂商中
赢得广泛赞誉。

特点

基板尺寸:支持小尺寸到G10大小的基板尺寸。
所用气体:使用预热加热器对压缩空气(CDA)或氮气(N2)进行加热后输送到各炉膛内,并通过已经获得专利权的遮板构造遮蔽外界气体。(专利号:3614748号)
洁净度:最高可达到美国联邦空气洁净度标准 Class10,产生的颗粒物非常少。(相对于热风式加热炉)
跳过操作:各层为独立炉膛(槽口:Slot)结构,可以对发生异常的层执行跳过操作,从而不会影响其他层,生产率高。
独创的气体控制技术:采用本公司独创的炉膛内气体控制技术,从炉膛内切实排出烧成(退火)工序中生成的无用升华物及气体。(专利号:3961912号)
如果安装粘结剂捕集阱(选配件),将可使排放的气体内包含的杂质固化,从而可以进行妥善处理,实现保护工厂设备和环境。
电力峰值控制:可以限制升温时的电力峰值。此外,良好的绝热构造可削减散失的热能,从而能够削减二氧化碳排放量。
高性能远红外线加热器:各炉膛内配备施加本公司独创的高辐射率(ε=0.85以上)特殊处理的远红外线加热器,能够快速且均匀地加热,热历史的重现性良好。
因为采用多层加热炉结构,所以温度控制可对各炉膛进行精细设定,从而减小热处理玻璃基板的质量波动。
节省空间:采用本公司设计的全球首创(1992年)纵型多层加热炉结构以节省空间,所需空间为以往辊底式加热炉的1/3以下,可实现缩减工厂面积。
基板支撑:各炉膛内设有基板支撑部件,可妥善支撑热处理的玻璃基板,以避免背面出现损伤等缺陷。

用途

配向膜烧成/配向膜涂覆前的清洗干燥/摩擦配向后的清洗干燥/密封材料固化
各种退火/抗蚀剂干燥及烧成/有机膜烧成
ITO退火/ITO结晶

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