液晶/OLED显示屏生产用加热炉 YHR系列
YHR系列是以LTPS智能手机及高精细FPD为目标的高精细液晶面板生产中不可或缺的RTA设备。
本产品的设备性能适合LTPS高精细液晶面板的量产作业，有助于进一步提升智能手机的性能。
熟知玻璃基板特性的YACDenko独有的技术知识渗透到产品的每个细节。
特点
- 基板尺寸：最多可支持G10大小的基板尺寸。
- 快速升降温：升降温速度可达每分钟100 ℃。
- 小型/密封性能良好的炉膛：采用本公司独创的炉膛设计，可在短时间内到达低氧状态（100 ppm以下），从而缩短工艺时间。
- 均匀的温度分布：经过计算后在基板上下配置的加热器也进行区块控制，恒温及升降温时均可抑制面内温度分布的误差。
- 洁净度：最高可达到美国联邦空气洁净度标准Class10，产生的颗粒物非常少。
- 独创的气体控制技术：采用本公司独创的炉膛内气体控制技术（层流 laminar flow），可从炉膛内切实排出工艺过程中产生的无用气体。
- 基板支撑：设有基板支撑部件，可妥善支撑热处理的玻璃基板，以避免使其受损。
用途
・LTPS Backplane 适用的Activation等的RTA工艺
本公司拥有FPD适用的高温工艺评估用实验设备，可接受实验，以应对客户的各种需求。敬请垂询。