加熱効率

ヒータエレメントに施されたセラミック系コーティングは効率的な加熱を実現します。
低温から⾼温領域まで幅広い加熱プロセスに対応。

優れた炉内温度精度

ベルト幅⽅向を3分割温度制御する事により、幅⽅向の温度分布に優れています。

クリーン

ベルト擦動部が少なくパーティクルの発⽣が低減されます。

バインダ処理

バーンアウト部より排出された昇華物はベルト駆動⽅向と逆の流れを取り、ファイリングゾーンに汚れたガスが逆流しない構造です。

雰囲気コントロール

バーンアウト部及びファイリング部のガス供給・排気は3系統個別に調整できる為、幅⽅向のガスの流れが均⼀化されます。