各種ローコスト熱処理向け熱風炉
・温度
・温度精度
・クリーン度
各種業界必要スペックを網羅したオールアラウンダー熱風炉。
基本仕様
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構造 熱風多段バッチ式 対象処理物 基板:～G8(2200×2500mm)
ウエハー:～300mm
最高使用温度 ～280℃
温度精度 ≦±3℃
ヒーター 熱風機
基板支持 耐熱樹脂
プロセスガス CDA/N2
クリーン度 Class100(ULPAフィルタ使用)
バインダトラップ オプション
熱交換器 オプション