基本仕様

• 対応ウェハサイズ	最大8インチ
  チャンバーサイズ	Φ8inch：ID430×540L[mm] Φ6inch：ID300×400L[mm] （本体寸法：D1400*W1000*H770[mm]）
  給電方式	同軸電極方式 対向電極方式
  プロセスガス	O2、CF4等　(最大3系統)
  その他機能	ハロゲンヒーター加熱機構搭載 自動制御：圧力、ガス流量、RFマッチング 自動処理：真空引きから大気開放迄

用途

レジスト、有機膜アッシング
表面改質
親水性向上
プラズマクリーニング