バレルアッシング装置
最大６インチウェハーのバッチ処理が可能な、プラズマアッシング装置です。
チャンバー開閉ドアと一体になったセラミック製ビームウェハーボートローディング機構を有しており、ウェハーボートと石英チャンバーが接触しないためクリーンで均一性の良い処理を実現しております。
また、最大2室（縦型配置）までのチャンバー搭載が可能であり、6インチウェハーまでのサイズであれば、同時に５０枚～１００枚のバッチ処理ができます。※
角形ガラス基板上のレジストアッシング処理や小型パーツのプラズマ表面処理にも対応しています。
※ボート交換により多種サイズに対応可
基本仕様
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対応ウェハサイズ 最大6インチ（バッチ処理） 放電方式 同軸電極方式
対向電極方式RF ジェネレータ 13.56MHz、1000W プロセスガス O2、CF4等 (最大3系統) その他機能 省スペース縦二段式チャンバー配列
ボート引き出し式自動ドア
ハロゲンヒーター加熱機構
内部電極（アルミトンネル）
オートシーケンス、ステップ制御
用途
レジスト、有機膜アッシング
表面改質
親水性向上
プラズマクリーニング