コンパクト Vertical Furnace
『小型ワークの熱処理に各種雰囲気対応』
- ～6inchまでの小型ワークに特化したコンパクト仕様
- 搬送ロボット、ボートローダ付の一体構造
- 用途： 半導体、電子部品業界シリコン基板、セラミック基板
基本仕様
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方式 Batch式縦型Anneal炉 制御温度上限 1000℃
温度精度 ±1℃（ボート内 上中下3point）
Over shoot ＜1℃
炉内雰囲気 N2、O2、H2、真空
処理枚数 25枚，50枚/Batch
ワーク ～6inch基板
到達酸素濃度 ＜10ppm
構成
