ドライエッチング受託加工のご案内
弊社ではドライエッチング受託加工サービスを行っております。
プラズマ技術でお客様固有のニーズに応じての各種実験、測定評価、試作などお受けしております
受託加工前の工場ご見学、受託加工実施時の立会いも可能ですので、詳細につきましては、下記のボタンからの問い合わせフォーム、または下記の電話番号に直接お問い合わせください。
FPD営業本部
☎ 0428-32-2615 ✉️ post@yac-denko.co.jp
受託加工事業所
〒400-0314 山梨県南アルプス市下市之瀬1210-1
特徴
- クリーンルーム環境にて高品質な加工を実現
- 小型から大型まで幅広いワークサイズを加工可能
- 加工後に各種測定、測長が可能な環境を整備
- 研究開発の突発的な少量試作から、継続的な量産加工まで対応
- メーカーならではの装置導入ご提案が可能
エッチングデモ機仕様
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加工可能サイズ ～1,500mm×1,850mm(最大） プラズマ方式 ・誘導結合型プラズマ方式（ICP）
・バレル型アッシング装置基板方式 ESC（静電チャック）
基板冷却可能バイアス印加 有り 使用可能プロセスガス CF4,SF6,CHF3,C2HF5,
Cl2,BCl3,Ar,N2,He加工後評価 FE-SEM、EDS、段差測定器、光学顕微鏡
エッチング事例
